江苏鲁汶仪器有限公司

    江苏鲁汶仪器有限公司由比利时鲁汶仪器、中科院微电子研究所以及风投公司共同注资成立，注册资本5418.43万元。公司位于江苏省邳州市海河西路16号，是以创新为主导的高科技半导体设备公司。公司秉承“创新、实现、信赖”的经营理念，倡导精益求精的工匠精神，为客户提供性能卓越的用于半导体研发、生产、材料检测的高端装备及配套技术服务。公司属于电子信息产业，是国家、省市及地方重点发展的战略新兴行业。公司主要产品有反应离子刻蚀机、感应耦合等离子体刻蚀机、离子束刻蚀机、多腔室磁隧道结刻蚀机（用于磁存储器及磁传感器刻蚀）、多腔室金属刻蚀机、电感耦合等离子体化学气相沉积设备、气相分解金属沾污收集机台、薄膜材料纳米孔径分析仪等。客户群体主要有大学、科研院所以及大型集成电路工厂。公司拥有自主专利技术，核心产品技术国际领先，成立三年来，累计申请专利160余项。公司核心产品荣获江苏省经信委“首台套”重大装备认定，获得“江苏省重点推广应用新技术新产品”证书。 公司拥有国际一流人才团队，技术团队由诺贝尔奖获得者、国内外半导体领域知名教授、资深工程师及高校科研院所的年轻技术骨干组成，核心成员入选了江苏省“双创团队”及 “六大高峰人才团队”。公司是江苏省首批入选“外国专家工作室”入围企业，同时是江苏省“引才引智示范单位”。公司创始人被评选为“江苏省领军型创新企业家。”国际一流的人才团队为公司保持技术领先、实现创新驱动打下了坚实的基础。公司产品在客户端深受好评，核心产品多腔室磁隧道结刻蚀机属于目前国际上最先进的磁隧道结刻蚀设备，产品一经下线，即获得两个订单，包括一台海外订单。其他类刻蚀机在市场上竞争力强，口碑好，公司已显现出成为国内半导体科研设备领域行业龙头的实力。

    公司的磁存储器刻蚀机专为刻蚀过渡金属及非挥发性金属而研制，是制造磁随机存储器（MRAM）和磁传感器等器件的专用设备。围绕该设备，公司拥有多项专利。该设备利用公司全球独有的多腔室联动技术，将电感耦合等离子体（ICP）刻蚀模块、离子束刻蚀（IBE）模块、以及原位保护（PECVD）模块集成在同一个系统中，通过ICP刻蚀模块和IBE刻蚀模块的配合使用，可有效避免非挥发性刻蚀残留物，并精确去除在残留物去除工艺中产生的等离子损失层。原位保护模块，可以保证磁隧道结在刻蚀后、在真空环境下即覆盖原位钝化层，从而有效隔离空气，解决侧壁金属氧化及水化导致的器件可靠性问题。利用该设备生产的磁存储器的隧道节具有侧壁陡直、损伤低、良率高等优点。 三腔室联动的解决方案在提升产率上也比单腔室方案更优越，为高密度小型化磁存储器的量产提供了独特而全面的解决方案。